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DTB结晶器
DTB真空结晶器
DTB真空结晶器
DTB型结晶器属于典型的晶浆内循环结晶器。在结晶器设置内导流筒,形成了循环通道,只需要很低的压头,就能使器内实现良好的内循环。同时结晶循环区和细晶沉积区互不干扰,彼此独立。DTB结晶器采用了特殊设计的搅拌桨,且转速可调。
DTB冷却结晶器
DTB冷却结晶器
DTB冷却结晶器同DTB真空结晶器一样都有导流筒及环形隔板,其将结晶器内部空间划分为晶浆循环区和澄清区。不同之处在于过饱和产生于外置换热器。
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